KLA-TENCOR, es el líder mundial en perfilómetros, ofreciendo sistemas estándar y metrológicos medir el perfil de una superficie de cualquier material a nivel nanométrico y sobre superficies de varios milímetros de largo (a diferencia de los microscopios AFM cuales pueden barrer solo hasta 250 micrones de largo) .

El modelo ALPHA STEP AS-IQ ofrece todas las funciones usualmente requerida en un perfilómetro para en investigación en materiales a un precio muy accesible. Los barridos son de 10 mm maximo y detecta escalones de hasta 400 micrones de altura o profundidad.

El modelo P15 ofrece la más alta precisión. Es en general el instrumento preferido por las plantas de fabricación de semiconductores y por los centros de metrologia. Los barridos pueden ser de hasta 300 mm y detecta escalones de hasta 325 micrones de altura o profundidad.