VACUOMETROS: INTECO distribuye vacuómetros principalmente de las marcas MKS, ALCATEL Y LESKER. Para escoger el vacuómetro adecuado se deben conocer por lo menos: el rango de presión a medir, el gas cuya presión se debe medir, la precisión de la medición, el tipo de brida disponible para conectar el sensor (ISO-KF, ISO-CF, VCR-M, tubo...), el tipo de display (analógico o digital) y el nivel de automatización. Los sensores siguientes requieren de un controlador electrónico (analógico o digital) y tienen las siguientes cararcterísticas principales:
CONTROLADORES DE FLUJO MASICO: MKS es líder mundial en la producción de este tipo de controlador cual permite medir con buena exactitud la masa de gas pasando a través de él y con una válvula interna regula el flujo a un valor escogido por el operador. La precisión de +/- 1% del rango máximo del controlador (entre 10 sccm y 50,000 sccm).
PIRANI: miden entre 100 mbar y 10-3 mbar según el principio de la conductividad térmica y con precisión entre 1 y 10% de la lectura según el rango y según el gas. No son absolutos ya que la lectura depende del tipo de gas presente. El sensor es un consumible ya que su filamento se desgasta naturalmente.
CONVECCIÓN: Es un PIRANI modificado con rango extendido hasta 1000 mbar.
TERMOPAR: También trabajan según el principio de la conductividad térmica y son dependientes del gas que se bombea. Son muy económicos pero poco precisos ( 5 a 10% de la lectura típicamente). Miden entre 100 mbar y 10-3 mbar.
MANÓMETRO CAPACITIVO: Este famoso manómetro introducido hace mas de 20 años por MKS con el nombre de Baratrón mide la presión absoluta (independientemente de los gases presentes) con una precisión desde 0.5% hasta 0.05% de la lectura. Su rango de medición es de 4 décadas (un Baratron de "full scale" de10 Torr medirá hasta 10-3 Torr) . La más baja presión detectable es de 10-6 mbar. MKS fabrica modelos para presión absoluta o presión diferencial, calentados o no (para protección y/o mejor precisión).
CÁTODO FRÍO: Miden entre 10-2 mbar y 10-10 mbar. No tienen filamentos. Se pueden limpiar fácilmente. Son compatibles con altas presiones de oxígeno.
CÁTODO CALIENTE: Miden entre 10-3 y 10-11 mbar. El filamento interno se puede dañar fácilmente. La precisión depende del rango de presión y es típicamente entre 1 y 10%.
SISTEMAS MULTI SENSORES: Estos controladores son modulares y permiten alimentar y leer varios tipos de sensores desde una misma unidad, con interfaces RS 232 y/o 488, con varios relevadores y posible control de controlador de flujo de gas.
INTECO ofrece sensores compatibles con casi todas las marcas existentes para ofrecerle una alternativa más rápida y/o más económica.
